تشتمل مواضيع هذا المساق على دراسة اسطح وهياكل أشباه الموصلات ،جوانب التناضد في تكوين اشباه الموصلات المكونه من السيليكون ،تقنيات توصيف ورصد نمو اشباه الموصلات باستخدام اشعة الجزيئات : الهيكلية ، تضاريس السطح وتكوين ونمو طبقات اشباه الموصلات باستخدام تقنيه اطياف اوجير واطياف الاشعه السينيه . تعقيدات الحساسية والانتقائية في دراسة السطوح والواجهات لاشباه الموصلات .