يتضمن هذا المساق شرح لتكنولوجيا الفراغ, المضخات الفراغية وأنظمة الفراغ، حركية الغاز و معادلة "هيرتز كنودسن" المتعلقة في نمو الهيكل منخفض الابعاد، التبخير الحراري، الترسيب, الامتزاز خاصية الانتشار السطحي، التنوي، والتطور البنائي، نظرة عامة على الترسيب الكيميائية الكهربائي للأبخرة، وتقنيات تحليل الطبقات الرقيقة.
